維意真空PE-CVD等離子增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)定制
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商品介紹
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爐膛 60*1200mm
射頻電源功率 300W
真空抽速 9L/s
極限真空度 0.5Pa
氣路系統(tǒng) 2路質(zhì)量流量計
正壓保護 有
前驅(qū)體源 3路
ALD閥門 ALD三通閥
最高溫度 1200℃
是否定制 是
商品介紹

PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積(CVD)反應(yīng)溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應(yīng)，所以這個系統(tǒng)稱為增強型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)。

該型號PECVD為單溫區(qū)系列最新款，綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了維意自主研發(fā)的實驗電爐AIO全自動智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡便，功能更加強大。

主要特點：

1. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制;

2. 管內(nèi)壓力自動平衡——管內(nèi)壓力實時監(jiān)測，自動平衡管內(nèi)壓力。

3. 智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷，省時省力;

4. 射頻功率和開關(guān)定時控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時間，自動運行;

5. 爐膛移動速度可調(diào)——根據(jù)實驗要求，用戶可設(shè)定爐膛左右移動的速度可距離;

6. 整機結(jié)構(gòu)融為一體——移動方便，避免分散組裝的困擾。


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公司名稱 北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
聯(lián)系賣家 于磊 （QQ：2412958820）
電話 萨萦萨-萪萭萩萤萭萧萧萭
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地址 北京市大興區(qū)
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